Caracteristici:

1) Viteza de nitrurare este mai rapidă, ciclul de nitrurare poate fi scurtat corespunzător, iar timpul de nitrurare ionică poate fi scurtat la 1/3-2/3 din timpul de nitrurare gazoasă.

2) Fragilitatea stratului de nitrurare este mică, iar stratul alb format pe suprafața nitrurării cu plasmă este foarte subțire sau chiar nul. În plus, deformarea cauzată de stratul de nitrurare este mică, ceea ce este potrivit în special pentru piese de precizie cu forme complexe.

3) Consumul de energie și amoniac poate fi economisit. Consumul de energie electrică este de 1/2-1/5 din consumul de nitrurare cu gaz, iar consumul de amoniac este de 1/5-1/20 din consumul de nitrurare cu gaz.

4) Nitrurarea locală este ușor de realizat, atâta timp cât piesa care nu necesită nitrurare nu produce strălucire, piesa nenitrurată este ușor de protejat, iar strălucirea poate fi protejată prin ecranare mecanică și placă de fier.

5) Bombardamentul cu ioni poate purifica suprafața și poate îndepărta automat pelicula de pasivizare. Oțelul inoxidabil și oțelul rezistent la căldură pot fi nitrurate direct fără a îndepărta în prealabil pelicula de pasivizare.

6) Structura stratului compus, grosimea stratului de infiltrare și structura pot fi controlate.

7) Intervalul de temperatură de tratament este larg, putând fi obținută o anumită grosime a stratului de nitrurare chiar și sub 350°C.

8) Condițiile de muncă au fost îmbunătățite. Tratamentul de nitrurare cu plasmă, fără poluare, se efectuează la presiune foarte scăzută, cu foarte puține gaze de eșapament. Sursa de gaz este azotul, hidrogenul și amoniacul și practic nu se produc substanțe nocive.

9) Poate fi aplicat pe toate tipurile de materiale, inclusiv oțel inoxidabil, oțel rezistent la căldură cu temperatură ridicată de nitrurare, oțel pentru scule și piese de precizie cu temperatură scăzută de nitrurare, în timp ce nitrurarea la temperatură scăzută este destul de dificilă pentru nitrurarea gazoasă.